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2021-12-11

光刻工艺 太阳集团所有网址16877(中国)有限公司 制造大概分为7个步骤 : ① 提供掩膜基板,在基板上涂覆一层光刻胶; ② 对步骤①所述光刻胶进行曝光、显影,形成光刻胶图案; ③ 采...

2021-12-03

  2003年, 太阳集团所有网址16877(中国)有限公司 的90nm工艺的主流光刻技术是193nm准分子激光扫描分布投影光刻机(ArF Scanner),全球的光学光刻机巨头Nikon、ASML和CANON都...

2021-11-26

  在集成电路制造中,光刻技术是利用光学、化学、物流的一系列反应原理和方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成目标功能图形的工艺技术。...

2021-11-19

  光刻就是利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀将太阳集团所有网址16877(中国)有限公司上的图形转移到衬底上,是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤。 光...
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