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目前光掩模铬版的基板材料有石英玻璃和苏打玻璃(Soda-lime)两种。 苏打玻璃常用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL行业专用光学掩模版基材;石英玻璃其材料热膨胀率小、有较好的透光率,通常用在TFT-LCD、IC、高精密光学器件的光掩模版基材。
类别 苏打基材 石英基材
常规尺寸(mm) 3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
最大尺寸(mm) 850*1200
特殊尺寸(mm) 按客户要求定做(XY=20~609mm)
基材厚度(mm) 1.6  2.3 3.0  4.8   7.8   8.0 2.3  3.0  5.0    6.4    8.0
铬膜类型    ARC Anti-Reflective Chrome
热性能(℃) 710℃ 1730℃
温度收缩系数 8.1*10ˉ6(20~200 ℃) 5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透过率 >90%(T=2.3mm;l=400nm) >90%(T=2.3mm;l=200nm)
折射率 1.52 1.46
垂直入射反射率 约8%(片面反射约4%) 约2%(片面反射约1%)
耐酸性能 H2SO4(80℃,99%) 0.1Å/min H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min
耐碱性能 NaOH(Wt2%)0.8Å/min NaOH(Wt2%)0.4Å/min
表面平整度 <20um(400*400*3.0mm)
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